山东省内第一条！有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目通线仪beat365官方网站式举行_大众网

2023-10-23 14:08:16

　　beat365官方网站10月16日，山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目通线仪式在德州天衢新区举行，该项目一期投资25亿元，达产后可实现12英寸抛光片月产10万片，是中国有研布局的重点项目，也是山东省内第一条12英寸集成电路用大硅片生产线。

　　在位于天衢新区的山东有研艾斯半导体材料有限公司的无尘车间内，记者了解到，12英寸大硅片面积是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右，随着集成电路制程和工艺的发展，硅片趋向大尺寸化，12英寸硅片为当前及未来较长时间内的主流产品。

　　据山东有研艾斯总经理闫志瑞介绍，12英寸硅片的生产对洁净环境要求极高，需要经过有线道工序，并且对平整度要求极高，闫志瑞以头发为例向记者作了具体介绍，“硅片直径300毫米，而头发直径只有100微米，但最终硅片出厂时最高与最低的平整度误差不能超过0.1微米。”

　　该项目是国内半导体材料龙头企业中国有研布局的重点项目，作为山东省唯一一家制作12英寸硅片的厂家，全部达产后将形成360万片/年大硅片的生产规模，彻底改变我国依赖进口的局面。

　　德州集成电路产业历经10年发展，从无到有、再到多点开花，目前，已初步形成涵盖半导体材料、芯片设计、封装测试、终端应用等环节的集成电路产业链。天衢新区作为德州发展半导体产业的主阵地，依托中国有研“集成电路关键材料国家工程研究中心”，打造了占地800余亩，总投资93.4亿元的中国集成电路关键材料（德州）基地，包括8英寸、12英寸硅片、高纯溅射靶材、刻蚀设备用硅材料等七个项目。全部达产后将形成年产6英寸硅片180万片、8英寸硅片276万片、12英寸硅片360万片、12-18英寸硅单晶504吨、高纯溅射靶材4.3万块、高纯贵金属213吨，将成为北方最大的集成电路用大硅片生产基地，使山东省跻身硅材料产业国内第一方阵、靶材产业遥遥领先。